离子束溅射薄膜压力传感器产业发展分析

第一节 中国离子束溅射薄膜压力传感器产业发展环境（PEST）

一、经济环境分析

2005-2010年我国GDP增长变化情况   单位：亿元，%

二、政策、法规、标准

1、政策

在中国经济率先复苏的背景下，宏观调控政策备受各界关注。中央经济工作会议明确提出，2010年要保持宏观经济政策的连续性和稳定性，继续实施积极的财政政策和适度宽松的货币政策，同时根据新形势新情况着力提高政策的针对性和灵活性。尽管措辞基调未变，但政策的内涵和实施的重点或将发生微妙变化，“针对性和灵活性”将可能成为未来政策调控的关键词。

一个宽松的政策环境对薄膜压力传感器的创新和市场拓展都有一定的积极促进作用。另外，“积极的财政政策”对我国薄膜压力传感器行业的出口贸易也有益处。

2、部分相关标准

压力传感器相关标准列表

三、社会环境

社会环境是指组织所在社会中成员的民族特征、文化传统、价值观念、宗教信仰、教育水平以及风俗习惯等因素。构成社会环境的要素包括人口规模、年龄结构、种族结构、收入分布、消费结构和水平、人口流动性等。其中人口规模直接影响着一个国家或地区市场的容量，年龄结构则决定消费品的种类及推广方式。

目前，我国比较突出的社会问题有就业形势和过大的收入差距上。

从就业方面来看，我国经济增长对就业的拉动作用逐年减弱。GDP增长的就业弹性从1980年～1989年期间的0.323降低到2004年0.1左右。我国目前的经济增长是“非就业的经济增长”。而由于劳动适龄人口的大量增加（20世纪70年代、80年代生育高峰时期出生的人，目前正好进入就业年龄），以及城市化带来的大量农业居民转化为城市居民和国有、集体企业大量富余人员下岗。

另外，受到金融危机的影响，就业形势更加严峻。2009年中国的就业形势将比往年要严峻得多。随着全球金融危机的愈演愈烈，不少企业的招聘计划被冻结或缩水，对原本就面临巨大就业压力的大学生无疑是雪上加霜。

从我国的实践来看，随着我国工业化水平的逐步提高，从上个世纪90年代以来，我国的收入差距（包括城乡收入差距、地区收入差距和个人收入差距）呈现出不断扩大的趋势。2009年我国城乡居民收入比已经达到3.33∶1，再考虑城市居民还享有公费医疗、失业保险、住房补贴、养老金等社会保障方面的非货币收入因素，中国的城乡收入差距可能高达5倍～6倍，是世界最高的。虽然国家从20世纪90年代末开始采取或强化了一些措施（如减轻农民负担、逐步取消农业税、实施西部大开发战略、加强收入调节等）抑制收入差距扩大，但成效并不显著，收入差距已经成为影响我国经济发展的重要因素。

据分析，在目前我国经济发展阶段和经济条件下，如果不采取有效措施，“十二五”期间我国的城乡收入差距和地区收入差距继续扩大的趋势将难以避免，这将对我国的经济发展和社会稳定产生非常不利的影响。

四、技术环境

我国良好的政策环境和相对平稳的宏观经济形势为薄膜压力传感器技术创新和推广应用提供了优越的市场机会和发展空间。压力传感器技术已经发展到比较高的水平，并且更新换代的速度很快。虽然我国薄膜压力传感器生产技术水平与发达国家还有加大的差距，但随着我国经济的发展和社会的进步，以及电子工业的快速发展，国内众多企业实现工艺技术升级的需求进一步增强，我国的离子束溅射薄膜压力传感器将在技术、材料、工艺上都有改进和提高的空间。

第二节 离子束溅射薄膜压力传感器生产工艺分析

溅射薄膜压力敏感元件一般有两种形式，一种是直接在绝缘基底(如蓝宝石基底)上，先制作金属薄膜，再用光化学等方法生成应变图形和电极，从而制做成薄膜压力敏感元件；另一种是在金属弹性体上先制作一层绝缘介质层，再在其上制作金属薄膜，然后通过光刻、刻蚀的一系列的工艺形成应变图形和电极，一般制作好的敏感元件表面还需覆盖一层保护层。

溅射薄膜压力传感器的主要制作工艺包括膜片的研磨抛光、清洗、成膜、制作光化学图形和表面保护等。

1、膜片的研磨抛光

金属膜片的表面研磨和抛光是制造溅射薄膜敏感元件关键工艺，膜片表面研磨、抛光质量的好坏将直接影响到后续工序质量，因此膜片经研磨、抛光后其表面质量必须达到以下要求：表面粗糙度Ra≤0.1μm；平面度≤1.2pm，且表面不能有划痕、桔皮等缺陷。

研磨一般需有粗磨、细磨，细磨后的表面不能有划痕。抛光工艺采用沥青胶版抛光工艺，沥青胶版抛光法抛光后的膜片表面效果较好，用沥青胶版抛光制作的敏感元件的温度性能、绝缘强度、产品成品率较好。

2、膜片的清洗工艺

膜片在成膜前要经过化学试剂超声波清洗和离子轰击清洗两道工艺。化学试剂超声波清洗可以去除膜片表面的油脂、微尘等污染物，离子轰击可以去除膜片表面吸附的水汽、空气的微观污染。洁净的膜片表面可以获得到良好的薄膜结合力，膜片表面清洗不干净会导致膜层的结合力下降，严重时还会导致膜层脱落。

3、薄膜沉积

制备薄膜的方法很多，在薄膜压力敏感元件制作过程采用的方法大致有真空蒸发成膜和溅射成膜两种，而溅射成膜又可分直流溅射、射频(RF)溅射、离子束溅射(IBS)等几种。真空蒸发成膜结合力差，且工艺重复性不好，所以现在在薄膜压力敏感元件的制作工艺中已经很少有人采用。直流溅射成膜也因为不能沉积介质膜而不被采用。目前，在制造工艺广泛使用的方法基本上是射频溅射成膜和离子束溅射成膜两种。

4、制作电极图形

电引线图形的材料使用一般使用高纯Au制作电极图形，一般是先用光刻的方法在金层上形成掩模，然后用水基12、KI腐蚀液化学腐蚀出图形。该腐蚀液在浓度、腐蚀温度和搅拌速度合理时，对膜片材料、电阻材料基本上不腐蚀，可以很好地控制腐蚀终点。

5、制作应变电路图形

制作应变电路图形一般是先用光刻的方法在膜层上形成掩模，然后进行化学腐蚀或干法刻蚀的方法进行图形加工。化学腐蚀一般得到的图形线条边缘不整齐，而且有侧向腐蚀现象。干法刻蚀图形线条边缘比较整齐，而且无侧向腐蚀，所以一般都采用离子束干法刻蚀工艺。

6、敏感元件表面保护

在制作好应变图形的敏感元件表面，沉积一层介质膜层，可以提高敏感元件的抗湿性能，防止应变电阻层在长期使用过程被氧化和污染，有利于保证敏感元件的长期稳定性和可靠性。保护层和绝缘介质层一般采用同种材料，目前大部分薄膜压力敏感元件生产厂家使用的材料为Si02。

第三节 离子束溅射薄膜压力传感器产业发展特征

一、周期性特征

目前市场上常见的压力传感器有扩散硅式、差压电容式、陶瓷压阻式、金属应变片粘贴式等多个品种。溅射薄膜式压力传感器是近几年来刚刚迈入市场的后起之秀，离子束溅射薄膜压力传感器产业处于成长期。

二、区域性分布

敏感元件与传感器的研制、生产集中在东部沿海地区，产量较大的企业包括欧姆龙（上海）有限公司、爱科电子（珠海保税区）有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、精量电子（深圳）有限公司等，而其它95%以上属小型企业，综合实力较强的骨干企业较少。目前能批量生产的产品涉及光敏、电压敏、热敏、力敏、气敏、磁敏和湿敏7大类，约3,000多个品种，年销售量较高的企业集中在北京、上海、江苏、陕西、广东、浙江等省市。

三、产业链研究

免责申明：本文仅为中经纵横市场研究观点，不代表其他任何投资依据或执行标准等相关行为。如有其他问题，敬请来电垂询：4008099707。特此说明。