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第一节 离子束溅射薄膜压力传感器定义及性质
溅射薄膜压力传感器是由贴片式压力传感器发展而来。薄膜式压力传感器是利用薄膜技术在弹性上直接制作薄膜应变电路的一体化敏感元件(及薄膜压力敏感元件)，一方面沿用了传统的弹性体粘贴箔式应变计的电测机理，并继承了其原有的一些优点，另一方面采用现代薄膜工艺技术，用陶瓷介质代替了粘贴胶层，克服了由胶层引起的蠕变等一系列的弊端，使其在长期稳定性、耐高温、高输出阻抗等性能指标得到了极大的提高。
所以薄膜压力传感器适合于要求稳定性好、可靠性高或温度范围宽等恶劣条件下的压力参数测量。特别是在航天领域，其应用前景极为广泛。
第二节 离子束溅射薄膜压力传感器发展历程
薄膜技术在近二十年来半导体集成电路工艺发展的推动下取得了长足的进步。特别是在最近十几年来，微米、压微米、纳米技术得到广泛应用，半导体技术迅速崛起。新的镀膜工艺不断涌现，为薄膜技术的发展提供了契机，同时薄膜技术也成为各种微传感器和微执行器制作流程中必不可少的工艺环节。薄膜工艺和薄膜材料也成为当代真空技术和材料科学中最为活跃的研究领域。
将薄膜技术应用到传感器的研究开发上是传感器领域内发展较快的技术之一。薄膜技术与传感器技术的结合，为传感器开拓了更为广阔的发展空间。
薄膜传感器在上个世界七十年代面试之后的一段时间，主要用于航天等军用领域。上世纪80年代，溅射薄膜压力传感器在美国、德国、法国等国家航天飞机等飞行器上就有了成熟的应用。如Bell&Howell公司的CEC1000压力传感器大量用于航天飞机上。法国Sep.公司的27型溅射薄膜压力传感器大量用于通讯卫星及ARIANE4、5型火箭上。新型燃油火箭发动机的燃油压力、滑油压力测量，火箭助推器伺服系统，发动机地面试车台喷管口部压力测量，导弹发射微机控制系统，发射基地燃料、氧化剂的储罐及加注压力监控等都需要高稳定性、高可靠性的压力传感器，在上述领域，溅射薄膜压力传感器都有过成功的应用。
由于采用了薄膜技术，溅射薄膜压力传感器具有高精度；零位和灵敏度的温度漂移小；电阻器件的老化技术，使其具备最优的长期稳定性；小型化的可能性；低成本等几个方面的优点。
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